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石墨烯制备设备浅谈石墨烯的制备方法

2023-04-04   

石墨烯的制备方法不只一种,不论是中国石墨烯,还是国外,就目前情况而言,主要有四种:微机械剥离法、SiC外延生长法、化学气相沉积法(CVD)、氧化还原法。这四种石墨烯的制备方法各有优缺点,跟石墨烯制备设备来一一了解下吧。

一、石墨烯制备设备浅谈微机剥离法

过多次粘贴将HOPGHighly Oriented Pyrolytic Graphite),然后将带有石墨薄片的胶带粘贴到硅片等目标基体上,最后用丙酮等溶剂去除胶带,,从而在硅片等基体上得到单层和少层的石墨烯。

二、石墨烯制备设备浅谈碳化硅外延生长法

在超高真空环境和高温下,,通过加热SiC 衬底,使其中的Si 原子升华, 留下的富C 原子表面则石墨化, 重构形成石墨烯层。

三、石墨烯制备设备浅谈氧化还原法

将石墨氧化后(借助超声/高速离心)得到分散于溶液中的氧化石墨烯,再经过还原后,得到单层或多层的石墨烯。

四、石墨烯制备设备浅谈化学气相沉积法(CVD

利用甲烷等含碳化合物作为碳源,通过其在基体表面的高温分解生长石墨烯。从生长机理上主要可以分为两种:渗碳析碳机制和表面生长机制。

渗碳析碳机制:对于镍等具较高溶碳量的金属基体,碳源裂解产生的碳原子在高温时渗入金属基体内,,在降温时再从其内部析出成核, 进而生长成石墨烯。

表面生长机制:对于铜等较低碳量的金属基体,高温下气态碳源裂解生产的碳原子吸附在金属表面,进而成核生长成石墨烯孤岛。并通过石墨烯孤岛的二维长大得到连续的膜。

石墨烯制备设备觉得,CVD石墨烯的制备方法简单易行,所得石墨烯的质量高,可实现大面积生长,而且易于转移到各种基底上使用,因此该方法广泛用于石墨烯透明导电膜,以成为制备高质量石墨烯的主要方法。

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